精密加工技术是为适应现代高技术需要而发展起来的先进制造技术，是其它高新技术实施的基础。精密加工技术的发展也促进了机械、液压、电子、半导体、光学、传感器和测量技术以及材料科学的发展

精密和超精密加工的技术

精密加工和超精密加工代表了加工精度的不同阶段，通常，按照加工精度划分，可将机械加工分为一般加工，精密加工，超精密加工三个阶段，由于生产技术的不断发展，划分的界限将逐渐向前推移，界限是相对的，具体数值上没有固定。

精密加工和超精密加工的范畴

精密加工是指加工精度为精密加工是指加工精度为1~0.1µ;m，表面粗糙度为Ra0.1~0.025µ;m的加工技术，超精密加工是指加工精度高于0.1µm，表面粗糙度Ra小于0.025µm的加工技术，因此，超精密加工又称之为亚微米级加工。

从精密加工和超精密加工的范畴来看，它应该包货微细加工，超微细加工，光整加工，精整加工等加工技术。

微细加工技术是指制造小尺寸的加工技术，超微细加工技术是指制造超微小尺寸零件的加工技术，他们是针对集成电路的制造要求提出的，由于尺寸微小，其精度是用切除尺寸的绝对值来表示。