精密五金加工中微小孔的加工目前是最困难的加工之一，目前最有效的微孔加工方法之一就是采用电火花机床来进行加工。对于直径小于0.1mm 的微孔，采用电火花加工能比激光加工获得更高的精度。提高电火花加工速度和精密五金加工精度，除合理选用电火花加工过程中的电参数之外，还要注意加工中电蚀产物的顺利排出、工具电极的制造，校直精度以及工具电极在电火花加工过程中的微量损耗。

精密五金加工中微孔的电火花加工工艺还有许多特殊要求。主要是能保持微小的进给速度，一般需要在0.5微米/秒以下，而且电极的端面间隙一般在1微米以内，为此需设计制造专用的微孔电火花加工机床，用于实现微孔加工和反拷法制造微细工具电极。

工具电极的制造方法，最普通的是用车、磨等加工至所需尺寸，或用所需尺寸的线材校直作为电极，使用时装到电火花机床上，由于多次装夹，工具电极与电火花机床主轴的同轴度较差，工具电极的精度也就受到影响，从而也会影响精密五金加工精度。

采用反拷法制造工具电极，是将工具电极毛坯安装在电火花机床的主轴上，用反拷块铜钨合金或反拷丝（钼丝、铜钨合金丝）加工电极至所需尺寸。由于反拷块在加工过程会有损耗，很难从原电极毛坯直径预测最终加工出的工具电极直径。因此，需要反复测量，反复加工，才能达到所需的尺寸。同时，反拷块工作面的直线度和垂直度误差也会直接复制到工具电极上，影响到工具电极的制造精度。

在传统的电火花加工的基础上，辅以高温处理工艺，进行微孔的电火花高温成型，精密五金加工可获得比普通电火花加工更好的效果。可在奥氏体不锈钢上加工直径0.12mm深20mm的孔，表面粗糙度小于0.08-0.16微米 ，直径误差在0.01mm以内。微孔在电火花加工时因孔壁和工具电极之间的间隙很小，排屑问题很突出，故出现了超声振动电火花加工和高压冲液电火花加工方法。超声振动电火花加工方法宜用于孔径0.4-0.4mm的孔加工，但深径比不能太大，加工效率是上述普通电火花加工的4-5倍。